SJT 11085-1996 立式涡轮分子泵通用技术条件
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ID： |
89AEC9FF06184DBC93CE3D21C0BC9F26 |
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文件大小(MB)： |
0.47 |
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页数： |
5 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和里丒因家标准,立式涡轮分子泵通用技术条件GB 11491 — 89,降为 SJ/T 11085-96,General specification of vertical furbomolecular pumps,1 主题内容与适用范,本标准规定了立式涡轮分子泵的技术要求、测试方法、检验规则和包装、贮运要求,本标准适用于有前级泵的立式涡轮分子泵（以下简称泵）,2 引用标准,GB 3163真空技术名词术语,GB 6070. 4活套真空法兰,GB 4982夹紧型真空快卸法兰,GB 6071.1-6071. 3超高真空法兰,GB 7774涡轮分子泵性能测试方法,GB 7773变容真空泵振动测量方法,GB 7772变容真空泵噪声测量方法,GB 6587. 1-6587. 6电子测量仪器环境试验,GB 191包装、储运图示标志,JB 8产品标牌,SJ 3192立式涡轮分子泵型式与基本参数,SJ 165 1660铜丝密封超高真空法兰,GB 5080. 7设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案,3 术语,3.I 体积流率（抽速）,泵在正常工作条件下,单位时间内被抽气体通过测试罩流经分子泵进气口的体积,即气体流量与测,试罩规定平面上测得的平衡压カ之商,3.2 极限压カ,泵在规定的工作条件下,不向测试罩引入气体,泵壳和测试罩经烘烤后，48h内在测试罩规定平面,上测得的平衡压カ,3.3 压缩比,通过泵进气口的气流量为零,被抽气体在前级区的分压カ至少占全压カ的90%以上,泵的前级压,カ与进气ロ压カ之比为分子泵对该气体的压缩比,3.4 起动时间,从接通电源起到泵转速达到额定转速的90%所需的时间,中华人民共和国机械电子工业部1 9 8 9 - 0 3 - 21批准1 990-03-01 实施,1,GB 11491 — 89,4技术要求,4.I 一般要求,4.1.1,4.1.2,a.,b.,c,4.1.3,泵应按经规定程序批准的图样及技术文件制造，并应符合本标准要求,泵在下列环境条件下应能正常工作:,环境温度:〇.40C；,空气相对湿度：＜85%;,冷却水进水温度:《25C,泵应避免抽除带粉尘、腐蚀性或爆炸性气体。泵在正常运转时不许直接引入大气，不许有强烈经,向振动和电火花干扰,41.4,a.,b.,为了除气目的,对泵壳、测试罩和真空测量规管可进行烘烤,其烘烤温度不得超过以下规定：,泵壳上法兰:120C;,测试罩或真空容器:350C;,真空测量规管:400C,4.1.5 推荐前级泵应符合下列要求:,分子泵体积流率,L/s,110 220 450 1 400 2 000 3 500,前级泵体积流率,L/s,)2 小>8 a30 >40 >70,前级压カ,Pa 10.1,4.1.6为防止异物落入泵内,泵的进气口应设置耐腐蚀金属过滤网,并加以固定,4.1.7泵应在明显位置设置主机运转方向的指示标牌,4.1 . 8泵应采用专用油、脂润滑,其饱和蒸汽压在常温下不得高于3X10-6Pao,4.2 主要性能参数,泵的主要性能参数,极限压カ、压缩比、体积流率、起动时间、振动、噪声的要求应符合SJ 3192的相,应规定,4.3 连接尺寸及密封面质量,4. 3.1泵的进气口连接法兰及密封圈应符合GB 6071.1-6071. 3和SJ 1658-1660规定,4. 3. 2泵的出气口连接法兰及密封圈应符合GB 4982和GB 6070. 4规定,4.4 安全保持装置的可靠性要求,4.4.1 冷却水流量应符合设计要求,且具有保护装置,4.4.2 泵的电动机和烘烤装置对泵壳应有可靠的绝缘措施,其绝缘电阻不小于2MQ,4.5 转速,泵的转速应在产品标准中标岀或说明,4.6 电源参数,4.6.1 电源输岀电流不应大于设计图样规定值,且有保护措施,4. 6. 2电源输出的三相线电压应对称,其不对称性不得超过士。. 5V0,4. 6. 3电源的环境试验要求应符合GB 6587. 1-6587. 6的规定,4./平均无故障工作时间(MTBF),主机和电源在正常工作条件下的平均无故障工作时间(MTBF)应达到以下要求:,主机 MTBF 戸8 000h;,电源 MTBF)2 000ho,9,gb 11491-89,4.8 运转试验,主机与电源配套试车后,应进行连续5OOh运转试验,4.9 产品成套性,泵出厂时,应包括主机、电源、备附件和随机技术文件,并满足有关协议规定的其它要求,备附件和随机技术文件的品种、规格和数量应在产品标准及说明书中明确规定或说明,5测试方法,5.1 一般要求质量检查,5.2,5.3,按常规方法检查4.1条规定的各项要求,极限压カ测试,极限压力的测试应符合GB 7774规定,压缩比测试 丒,5. 3.1压缩比的测试装置,除符合GB 7774规定外,还应设置质量数为1~100的具有足够分辨率的,质谱分压计,5. 3. 2压缩比测试所用气体为氮气（N?）和氢气（氏）,其纯度应在99. 9%以上,5. 3. 3压缩比的测试方法应符合GB 7774规定。测试氮气的压缩比时,还应采用质谱分压计进行监,测,5.4,5.5,5.6,体积流率测试,体积流率的测试应符合GB 7774规定,起动时间测试,起动时间的测试应符合GB 7774规定,振动测试,5. 6.1泵应牢固地固定在刚性测试架上,测试架的重量应大于被测泵重量的四倍,5.6.2泵的岀气口与前级泵之间应采用,金属波纹管或真空橡胶软管连接,5. 6. 3泵正常运转lh后,按GB 7773规,定方法测量泵的振动,测量位置为图示A、,B、C……
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